東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ株式会社

【山梨】BEOL・PVD成膜装置開発プロジェクトマネージャー

【期待する役割】
次世代半導体向けのBEOL・PVD装置開発において、顧客要求や装置仕様の取りまとめから開発進捗管理、設計審査、顧客導入まで、開発プロジェクト全体をリードしていただきます。
BEOLとは、半導体製造の前工程後半にあたる「配線形成工程」です。PVDは真空環境で金属などをウェーハ表面に薄膜として形成する技術で、半導体内部の金属配線形成などに利用されています。
自ら特定領域の詳細設計を担当するというより、システム・メカ・エレキなど各分野のエンジニアや顧客との間に立ち、必要な仕様や課題を整理しながら装置開発を前に進める役割です。

【具体的には】
・顧客要求や装置仕様など、設計に必要な情報の収集・整理
・顧客、社内関係部門との仕様調整、取りまとめ
・BEOL/PVD装置の開発プロジェクト推進
・開発スケジュール、進捗、課題の管理
・DR（Design Review／設計審査）の準備・開催
・各種審査会への対応
・顧客への装置導入支援
・装置導入に伴う安全審査への対応
・PVD/CVD/ALD装置の開発・設計部門との連携
・装置出荷に向けたスペック協議、仕様決定
・出荷後に発生した装置トラブルへの対応支援
DR（Design Review）とは、設計内容や開発状況について関係者で確認し、要求仕様や安全性、品質などに問題がないかを審査する工程です。本ポジションでは、その準備から関係者との調整、開催までを担います。
また、PVD・CVD・ALDはいずれもウェーハ表面に非常に薄い膜を形成する「成膜」に使われる技術です。こうした技術を用いる装置について、メカ・エレキなど各分野のエンジニアを取りまとめながら開発を進めます。

■募集背景
半導体製造装置市場でのシェア拡大に向けて、BEOL/PVD装置の拡販と新しいコンセプトによるモジュール開発を進めています。
開発案件の増加に対応するため、個別の設計を担当するエンジニアだけではなく、仕様や課題を取りまとめ、複数の技術部門を横断して開発プロジェクトをリードできる人材を強化します。

■本ポジションの魅力
・次世代ロジックデバイスや半導体メモリ向けの成膜装置について、仕様検討から開発、設計審査、顧客導入までプロジェクト全体に携わることができます。
・これまでの製造装置や半導体製造装置の技術経験を活かし、個別設計からプロジェクト全体をリードする役割へキャリアを広げることができます。
・システム、メカ、エレキなど幅広い分野のエンジニアや顧客と関わります。顧客は韓国、台湾、米国、欧州などにもあり、担当案件に応じて海外顧客と関わる機会があります。

東京エレクトロン テクノロジーソリューションズは、1983年の設立から40年以上にわたり、半導体製造装置およびディスプレイ製造装置のリーディングカンパニーとして、山梨県と岩手県に主要な開発・製造拠点をもち、成膜装置、エッチングシステム、テストシステム、そしてディスプレイ製造装置をグローバルに展開しています。

AIの普及、あらゆる産業のスマート化、メタバースの活用など社会のデジタルシフトがますます進み、半導体は社会の根幹となる重要なインフラとして私たちの生活になくてはならないものとなりました。そして、デザインルールの微細化、構造の立体化、メモリの大容量化、ロジック回路の高速化、デバイスの信頼性の向上、低消費電力の実現など、これからも進化を続けます。そのような社会環境の中で、同社は世界をリードする半導体製造装置およびディスプレイ製造装置メーカーとして、技術革新を追求し続けると同時に、事業に関わる人々の安全と健康および地球環境への配慮を第一に考え、人と自然の共生するサステナブルで豊かな未来を創造していきます。サプライチェーンの皆さまとともに最先端の環境対応技術開発にも取り組み、世界トップクラスのスマート工場による「デジタル×グリーン」の両立を目指します。

＜経験・スキル＞

【必須要件】
以下いずれかの経験を5年以上お持ちの方
・製造装置の開発経験
・半導体製造装置を構成する真空機器、搬送ロボット、電源、ガス供給、温調機構などのモジュール開発経験
・半導体開発関連のプロジェクトリード経験

【歓迎要件】
・真空成膜装置の開発経験5年以上
・社内外の関係者との調整、折衝経験
・英語力（TOEIC500点以上が目安）