株式会社日立ハイテク

【山口】半導体製造装置開発における要素技術開発※リモート可

■プロセス研究開発部では、半導体デバイス製造用のプラズマエッチング装置にかかわる様々な研究開発を行っています。
■開発の分野は、プラズマを制御するための新たなハードウエア要素技術開発、装置を使いこなし極限の加工性能を引き出すためのプロセス技術開発、量産装置として要求される装置クリーン化や生産性向上技術の開発に分かれています。
■これらの開発を遂行するにあたり、エッチング装置の操作や、断面SEM、膜厚計等の計測・分析装置の操作を伴う実験や、各種シミュレーションコードを用いた数値計算、レポート作成と報告、また技術動向調査のための学会聴講や学会発表を行います。入社後はまず、ご経験やスキルに応じてお任せする業務を決定いたします。
■プロジェクトの内容・テーマにもよりますが、基本的に数名単位で進めていくケースが多く、短いもので1～2年、長いものだと3世代先などを見据え、5～6年かけて1つのテーマに取り組んでいただきます。

【製品について】
エッチング装置は半導体デバイスの製造プロセスに使われる装置です。
当社が開発する「ドライエッチング装置」は高反応性プラズマを利用します。真空容器内で各種のプロセスガスをプラズマ化し、化学反応と加速したイオンで薄膜を削って除去します。
当社が製造・販売するプラズマエッチング装置は、AIチップに代表される最先端の半導体デバイスの微細加工に貢献しています。
当社エッチング装置の特徴としてはECR（Electron Cyclotron Resonance、電子サイクロトロン共鳴）という技術を用いています。低圧で高密度なプラズマが生成でき、ダメージが少なく微細な加工が可能という特長があります。ECRを用いたエッチング装置を手がけているメーカは少なく、当社はその中で高いシェアを維持しております。

【募集背景】
半導体の微細化が進み、複雑な立体構造を正確に作りたいというニーズが高まる中、半導体製造プロセスにおけるエッチング工程の重要性が高まっています。当社は、そうした市場の要求に応える装置の開発をよりスピーディーに行い、顧客の期待に応えて行きたいと考えており、組織体制強化のため今回募集しております。

【組織について】
プロセス研究開発部は約30名が在籍しており、以下の3つのグループに分かれております。
①プラズマ・エッチング制御のための新たな要素技術を開発するグループ
②最先端の微細加工プロセス技術の開発を行うグループ
③クリーン化・低異物化や、装置の長期安定稼働のための技術開発を行うグループ
いずれのグループもさらに小さなチームに分かれており、それぞれの技術課題の解決のため、実験やシミュレーションを駆使し研究開発を遂行します。希望や適正に応じて何れかのグループに所属頂きます。

【働き方】
ご家庭事情に合わせて一時的なリモートワークは可能ですが、基本的には出社いただき、業務を進めていただきます。
※平均残業時間は20時間ほどとワークライフバランスを整えやすい環境です。
＜出張／駐在に関して＞
国内拠点（東京国分寺）や海外拠点（米国・台湾・韓国）への出張がございます。

【キャリアパス】
当部署はプラズマエッチング装置に関わる研究開発や機能検証のフェーズを担う部門ですが、半導体製造装置事業全体で見ると、製品化を行う設計部門(メカ、エレキ、ソフト、プロセス)、営業部門、サービス部門、海外現地法人等が存在しています。部門内に加え、部門を跨いだ異動や人財ローテーションも可能です。語学力向上や、より顧客に寄り添った製品開発にご興味ある場合は、海外現地法人への出張/出向、新技術の習得のための海外の大学への留学、また将来的には、チームを纏めリードする立場になる、等の幅広いキャリアパスがございます。

＜「見る・測る・分析する」のコア技術を基盤にハイテク領域を担う日立グループの中核企業です。＞
【会社特徴・事業領域】
「見る・測る・分析する」のコア技術を基盤にそれぞれ高い技術力・品質・シェアを誇る最先端な製品を通じて社会に貢献をしています。
また、コア技術を起点とした多角化した事業のため、それぞれの技術に親和性があり、且つ収益が得られるからこそ、業界の動向に左右されることなく長期的な視野で研究開発投資を続けられる体制が強みです。
加えて親会社の日立製作所は資本金4580億円を持つ巨大グループのため、安定した経営基盤の基で働くことができます。
■ナノテクノロジー・ソリューション
半導体領域（半導体製造装置（エッチング装置・測長SEM・表面検査装置など）、電子顕微鏡）
■ヘルスケアソリューション
バイオ・メディカル領域（医用分析装置、バイオ分析装置）
■コアテクノロジーソリューション
電子顕微鏡・解析装置
■バリューチェーンソリューション
社会・産業インフラ領域（商社機能）

• リモートワーク可

＜経験・スキル＞

【必須要件】
■機械、電気、材料、物理、化学のいずれかの技術バックグラウンドをお持ちで当部署の業務内容に興味をお持ちの方

【歓迎要件】
・半導体製造技術もしくは半導体デバイス技術に関連する実務経験をお持ちの方
・プラズマプロセス、エッチングプロセスに関する知識
・学会発表や学会への論文投稿の経験がある方
・分析機器の使用経験（電子顕微鏡、膜厚計等）
・英語に抵抗感がない方（入社時の英語力は不問ですが、キャリアアップに応じて使用する可能性がございます）